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多功能納秒綠光加工設備
      設備概述:
超快激光工作站,軟件配置靈活、功能部件模塊化設計;加工速度快,加工一致性好,節能環保,耗電量低;非接觸式加工,運行成本低。高頻率,窄脈寬。

      主要功能:
用于玻璃、藍寶石、石英等脆性材料切割與鉆孔。

      設備參數:
一、激光源:
1、 輸出波長:532nm;
2、 平均功率:≥20w;
3、 脈沖寬度:≤6ns@50kHz
 
二、加工參數
1、 掃描范圍:40*40mm;
2、 X/Y行程:250*250mm;
3、 最小線寬:≤20um;
4、 掃描加工速度:≤4000mm/s;
5、 平臺最大移動速度:≤18m/min;
6、 加工方式:動態可調焦3D掃描切割+平臺擴展方式。
                   
三、精度參數
1、 重復精度:≤±5um;
2、 定位精度:≤±10um;
 
四、可加工材料
1、 玻璃、碳化硅、金剛石;
2、 PCB板(軟板、硬板、軟硬板),無黑邊;
3、 硅片、陶瓷、金屬; 
 
五、圖檔格式
各種CAD圖形。

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